一、低温真空泵的原理与结构低温真空泵是一种利用20K以下的低温表面凝聚吸附气体的真空泵，又叫冷泵、冷凝泵，一般是以低温液体（液氮或液氦）或低温制冷机为冷源。二、低温真空泵应用领域有哪些低温泵适合用于需要高真空度的领域，尤其适合应用于要求洁净无油或快速抽气的场合，例如半导体与集成电路前工序、光学镀膜、太阳能电池板、光电子...
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